Nmark AGV-HP（O）高精度，熱穩定的振鏡掃描儀
設計特點
可用的高精度掃描儀在整個視場中達到單位微米級的精度
光學反饋技術大大提高了熱穩定性
與Aerotech的Nmark GCL控制器一起使用時，業界很高的分辨率> 24位
各種光圈和焦距
適用于各種激光波長的多種鏡面處理選擇
準確性和穩定性的極致
AGV-HP掃描儀系統上使用的高度可重復且熱穩定的反饋傳感器可以在整個視場內校準至單位個數微米級的精度（參見下圖）。憑借位置傳感器的極低的熱增益漂移性能，需要很長時間才能完成的復雜的高密度激光加工應用將在整個過程的生命周期內保持一致的微米級特征放置精度。同樣，高通量應用程序將保持一致的零件間質量，而無需在零件之間重新校準。為了獲得熱穩定性，AGV-HP掃描儀可以配備水冷裝置，以在負載變化，環境溫度變化或輸入光圈夾住光束的情況下穩定設備的工作溫度。
實時過程可視性
可以實時捕獲和分析AGV-HP（O）鏡的位置。通過直接訪問掃描儀的位置，用戶不再需要編程延遲參數來補償伺服系統中的滯后和跟蹤誤差。可以在標記零件之前優化工藝，從而節省時間并減少材料浪費。激光的狀態也可以基于就位和速度標準進行控制，從而進一步降低了編程復雜度。
高級編程功能
AGV-HP（O）利用了Aerotech的所有先進運動和PSO（位置同步輸出）功能，這些功能是為基于傳統伺服的激光加工應用開發的。諸如“加速限制”之類的輪廓功能可用于自動減小急轉彎或小半徑時的速度，以減小過沖。可以基于帶有PSO的反射鏡的位置反饋來觸發激光，以確保隨著掃描儀速度的改變，一致的光斑重疊。Aerotech的無限視場（IFOV）功能無縫地結合了伺服和掃描儀的運動，從而在伺服平臺的整個行程中擴展了掃描儀的標記功能，從而消除了在更傳統的移動-曝光-重復過程中可能發生的縫合錯誤。
設計選擇
AGV-HP（O）系列具有10、14、20和30毫米的輸入光圈，并可直接從Aerotech裝備F-Theta或遠心鏡頭。用戶還可以直接從值得信賴的供應商處購買聚焦光學器件，而Aerotech提供了一個定位環，以確保通過光學器件的背反射不會損壞掃描鏡。支持各種紫外線，可見光，紅外線和二氧化碳波長的鏡面涂層。還提供針對超快激光進行了優化的涂層。
機械規格
| 模型 | AGV10HP（O） | AGV14HP（O） | AGV20HP（O） | AGV30HP（O） | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 光學性能 | ||||||
| 光束孔徑 | 10毫米 | 14毫米 | 20毫米 | 30毫米 | ||
| 最大掃描角度 | ±20° | |||||
| 光束位移 | 13.0毫米 | 18.0毫米 | 25.1毫米 | 35.7毫米 | ||
| 反饋分辨率 | 0.007微弧度（26位） | |||||
| 抖動（最小增量運動）（2） | 均方根值 0.2 μrad | |||||
| 準確性 | 50微弧度pk-pk | |||||
| 重復性（3） | 0.4 μrad RMS | |||||
| 增益誤差 | 0.05弧度 | |||||
| 非線性度 | 0.005％ | |||||
| 動態表現 | ||||||
| 追蹤誤差 | 0微秒 | |||||
| 峰值加速度（4,5） | 288,000 m / s 2 | 224,000 m / s 2 | 80,000 m / s 2 | 56,000 m / s 2 | ||
| 連續加速（4，6） | 75,200 m / s 2 | 56,000 m / s 2 | 20,800 m / s 2 | 19,200 m / s 2 | ||
| 定位速度（4） | 75 m / s | 75 m / s | 50 m /秒 | 50 m /秒 | ||
| 打標速度（ 4、7、8 ） | 5 m /秒 | 5 m /秒 | 5 m /秒 | 5 m /秒 | ||
| 跳躍和穩定時間，移動1毫米（ 4，9 ） | 270微秒 | 270微秒 | 450微秒 | 700微秒 | ||
| 穩定性 | ||||||
| 長期漂移（3） | 偏移量 | 10 μrad / 12小時 | ||||
| 15微弧度/ 24小時 | ||||||
| 獲得 | 10 ppm / 24小時 | |||||
| 熱漂移 | 偏移量 | 10微弧度/°C | ||||
| 獲得 | 1 ppm /℃ | |||||
| 機械規格 | ||||||
| 重量 | 4.0公斤 | 4.3公斤 | 5.0公斤 | 5.8公斤 | ||
| 材料 | 鋁（黑色陽極氧化和藍色油漆） | |||||
| MTBF（平均無故障時間） | 20,000 | |||||
