重型空氣軸承旋轉平臺,這種堅固耐用的重型旋轉臺通過其直接驅動集成而在同類產品中獨樹一幟,并具有異常低的誤差運動,從而
The perfect solution for: ? Roundness measurements systems ? Micro- and nano-tomography ? Ultra-precision
轉臺尺寸:外徑65mm,厚度22mm,重復定位精度±2 角秒 直線臺尺寸:65*65*15mm,重復精度+-0.5um
Planar HDX使用碳化硅陶瓷作為氣浮導軌基體材料,采用線性放大器和無鐵芯直線電機作為驅動,高精度光柵尺或激光干涉儀作為
氣浮直線平臺由直線電機直接驅動,采用盒式全封閉型氣浮導軌,在導軌的四個方向都提供預載力。這種結構設計配合微米級的氣
氣浮轉臺的結構經過特別優化,具有大的空氣承載表面,提供極高的剛度和負載能力,不僅具有極小的軸向和徑向運動誤差,還有
機械導軌系統堅固穩定,使用長壽命的滾珠導軌和低摩擦密封裝置,適用于實驗室環境和一般工業環境。平臺采用無鐵芯直線電機
機械軸承轉臺使用大直徑雙軸承提高角擺、力矩剛度和重復性的性能,能夠承受更大的負載。轉臺內置直接驅動無槽無刷力矩電
標準線性產品線包括適用于各種應用的各種高精度線性平臺。優化的空氣軸承設計確保了剛度,阻尼,工作量和運行精度。無鐵線
AGV-HP振鏡滿足先進運動和PSO(位置同步輸出)功能,可以同時保證運動平臺與振鏡的整體聯動